大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
【~300mmウエハ用】450WPHの高速搬送! 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
- 企業:株式会社ダイヘン
- 価格:応相談