Last Updated： Aggregation Period:2025年11月19日～2025年12月16日
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半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送！
半導体ウエハ搬送容器 SHIPPING BOXは、半導体技術の基盤であるウエハ（φ300mm～φ50mm）を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。変動の激しいＩＴ業界でＱＣＤともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします
株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から 製作・組立までを一貫して承ります。 半導体装置メーカーへの納入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください。
ジェーイーエルは、1993年の創立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。 弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自社開発の生産システム（JOISYS）により受注情報、発注情報、在庫管理、工程管理情報、品質管理、開発情報、製品出荷情報を一元管理し、迅速な情報伝達及び納期管理と品質向上を実現しています。自社で開発設計から製品評価を短期間で完結できる社内体制を持ち、業界トップレベルのコストパフォーマンスに優れた製品の開発を中心に物つくりを行っております。また、ジェーイーエルの最大の強みはカスタマイズ対応力です。お客様のニーズを迅速に捉え、低コスト且つタイムリーな物つくりをモットーに柔軟に対応しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】
自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
自動充電と電飾急速交換をサポート！7×24Hの連続作業要求を満たします
『OW8』は、半導体FabにおけるSMIF PODフローの難題をワンストップで 解決する8インチウエハボックス搬送ロボットです。 レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術に基づいて、 室内±の繰り返し位置決め精度を実現し、各種設備と効果的にドッキング。 配置が容易で、複数協同作業でき、自主開発したYOUIFleet分散型知能 スケジューリングシステムに合わせ、顧客がロボットの大規模複数管理を 実現させます。 【特長】 ■8インチウエハボックス搬送 ■最大限の安全保護 ■8時間連続運転 ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術 ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■クリンルーム対応、低振動、帯電防止、半導体工場用に設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）
自動化・省人化の実現に向けた工程間搬送に！1台から柔軟にカスタマイズ可能です
『月光ロボット』は、SLAM式で停止精度±5mmのテクトレ社製 AMR(自律走行搬送ロボット)です。 専用矯正装置で停止後に位置矯正することで誤差を±0.5mm以下まで 抑えることが可能。 車体も1台からカスタマイズ対応しており、車体寸法や各種センサー、 冷凍環境(-20℃)、野外搬送などご要望に合わせて販売いたします。 【特長】 ■ISO3691-4、CE認証、UL認証、EUCC認証の追加 ■標準仕様は接触式充電、非接触自動充電へ変更可能 ■外観および本体寸法をご要望に合わせて変更可能(要確認) ■ナビゲーション用Lidar、障害物避けLiDar、各種センサーを 指定のものに変更可能(要確認) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
空荷時の稼働時間は13時間以上で、満載時でも10時間以上の運行が可能です！
『ATS-20』は、半導体業界の効率的な物流を目的とした搬送ロボットで、 20個の収納スペースを搭載しています。 各収納スペースにはREIDセンサーが装備され、収納状況や収納されている ウェハボックスの情報をリアルタイムで監視し、正確な管理を確保。 また、レーザーSLAMに基づくナビゲーション技術を採用し、±10mmの高精度な 位置決めを実現し、輸送過程での正確なナビゲーションを保証します。 【特長】 ■20個トレイ収納スペース ■半導体業界向けの効率的な物流設計 ■多段階の安全保護システム ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■長時間連続安定運転 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
